| 項目 | TOS9300 | TOS9301 | TOS9301PD | TOS9303 | TOS9303LC | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 判定動作 | 判定時に出力が遮断される。ブザー音量はPASS、FAIL それぞれ個別に 0(OFF) ～ 10 まで設定可能。自動試験ではプログラム終了時の判定のみブザーが有効。 | ||||||
| Upper FAIL | 判定方法 | 上限判定基準値（Upper）以上の抵抗値を検出するとUPPER FAIL判定。電圧上昇時間（Rise Time）中は判定しない。 | |||||
| 表示部 | 「Upper-FAIL」が表示される。 | ||||||
| ブザー | オン | ||||||
| SIGNAL I/O | STOP 信号が入力されるまで連続でU FAIL 信号が出力される | ||||||
| Lower FAIL | 判定方法 | 下限判定基準値（Lower）以下の抵抗値を検出するとLOWER FAIL判定。判定待ち時間（Judge Delay）中は判定しない。 | |||||
| 表示部 | 「Lower-FAIL」が表示される | ||||||
| ブザー | オン | ||||||
| SIGNAL I/O | STOP 信号が入力されるまで連続でL FAIL 信号が出力される | ||||||
| PASS | 判定方法 | 試験時間を経過して Upper-FAIL、Lower-FAIL でなければ PASS 判定。 | |||||
| 表示部 | 「PASS」が表示される | ||||||
| ブザー | オン(50 ms 固定) | ||||||
| SIGNAL I/O | Pass Hold で設定した時間まで PASS 信号が出力される。Pass Hold で Infinity を設定した場合にはSTOP信号が入力されるまで連続で PASS 信号が出力される。 | ||||||
| 電圧上昇率判定動作 | 電圧上昇時間(Rise Time)中に電圧上昇率を監視。判定遅延時間の自動設定 (Delay Auto)が ON で出力電圧が 0.2 kV 以上の場合に有効。判定時に出力が遮断される。ブザー音量はPASS、FAILそれぞれ個別に 0(OFF)～ 10 まで設定可能。 | ||||||
| dV/dt FAIL | 判定方法 | 電圧上昇率（dV/dt）が約1V/sに満たない場合に判定。 | |||||
| 表示部 | 「Lower-FAIL(dV / dt)」が表示される | ||||||
| ブザー | オン | ||||||
| SIGNAL I/O | STOP 信号が入力されるまで連続でL FAIL 信号が出力される | ||||||
| 上限判定基準値(Upper)設定範囲 | 0.001 MΩ ～ 100.000 GΩ (最大定格電流以下の範囲にて)、OFF。 | ||||||
| 下限判定基準値(Lower)設定範囲 | 0.000 MΩ ～ 99.999 GΩ (最大定格電流以下の範囲にて)、OFF。 0.000 に設定時は OFF と等価。 | ||||||
| 確度*1*2*3 (GNDがGuardの場合) (i：測定電流) (R：測定抵抗) | 5 nA ≦ i ≦ 50 nA*4 | 500.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ：±(15 % of setting + 0.51 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ：±(15 % of setting + 15 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ≦ 100.000 GΩ：±(20 % of setting + 210 MΩ) | |||||
| 50 nA ＜ i ≦ 100 nA*4 | 200.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ：±(10 % of setting + 0.51 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ：±(10 % of setting + 15 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ＜ 50.000 GΩ：±(10 % of setting + 60 MΩ) 50.000 GΩ ≦ R ≦ 100.000 GΩ：±(20 % of setting + 210 MΩ) | ||||||
| 100 nA ＜ i ≦ 200 nA*5 | 100.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ：±(7 % of setting + 0.51 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 2.000 GΩ：±(7 % of setting + 15 MΩ) 2.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ：±(7 % of setting + 20 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ＜ 50.000 GΩ：±(7 % of setting + 110 MΩ) | ||||||
| 200 nA ＜ i ≦ 1 µA*5 | 10.000 MΩ ≦ R ＜ 100.000 MΩ: ±(5 % of setting + 0.06 MΩ) 100.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ: ±(5 % of setting + 0.51 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ: ±(5 % of setting + 15 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ＜ 25.000 GΩ: ±(5 % of setting + 60 MΩ) | ||||||
| 1 µA ＜ i ≦ 1 mA*5 | 0.001 MΩ ≦ R ＜ 10.000 MΩ：±(2 % of setting + 0.013 MΩ) 10.000 MΩ ≦ R ＜ 100.000 MΩ：±(2 % of setting + 0.04 MΩ) 100.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ：±(2 % of setting + 0.31 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 5.000 GΩ：±(2 % of setting + 13 MΩ) | ||||||
| 確度*6 (GNDがLowの場合) (i：測定電流) (R：測定抵抗) | 5 nA ≦ i ≦ 50 nA*4 | 500.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ：±(25 % of setting + 0.51 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ： ±(25 % of setting + 15 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ≦ 100.000 GΩ： ±(30 % of setting + 210 MΩ) | |||||
| 50 nA ＜ i ≦ 100 nA*4 | 200.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ：±(20 % of setting + 0.51 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ：±(20 % of setting + 15 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ＜ 50.000 GΩ: ±(20 % of setting + 60 MΩ) 50.000 GΩ ≦ R ≦ 100.000 GΩ：±(30 % of setting + 210 MΩ) | ||||||
| 100 nA ＜ i ≦ 200 nA*5 | 100.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ：±(10 % of setting + 0.51 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 2.000 GΩ：±(10 % of setting + 15 MΩ) 2.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ：±(10 % of setting + 20 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ＜ 50.000 GΩ：±(10 % of setting + 110 MΩ) | ||||||
| 200 nA ＜ i ≦ 1 µA*5 | 10.000 MΩ ≦ R ＜ 100.000 MΩ：±(5 % of setting + 0.06 MΩ) 100.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ：±(5 % of setting + 0.51 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ：±(5 % of setting + 15 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ＜ 25.000 GΩ：±(5 % of setting + 60 MΩ) | ||||||
| 1 µA ＜ i ≦ 1 mA*5 | 0.001 MΩ ≦ R ＜ 10.000 MΩ：±(2 % of setting + 0.013 MΩ) 10.000 MΩ ≦ R ＜ 100.000 MΩ：±(2 % of setting + 0.04 MΩ) 100.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ：±(2 % of setting + 0.31 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 5.000 GΩ：±(2 % of setting + 13 MΩ) | ||||||
*1 200μA以下の判定には、Rise Timeが終了後3秒以上の時間が必要です。Low Pass Filterがオンの場合の判定には、Rise Timeが終了後10秒以上の時間が必要です。*2 湿度70％rh以下(結露なし)、テストリードの揺れなどの外乱がない場合。*3 多湿環境下で接地方式(GND)をLowに設定した場合には、本製品内部の高電圧配線部、および本製品とEUT間の高電圧配線部から接地に漏れ電流が発生します。この漏れ電流は、オプションの高電圧スキャナTOS9320の使用や配線状況によって数nA～数μAになり、測定確度に大きく影響します。オフセットを有効にして測定することで、漏れ電流の影響を低減させることができます。*4 100V以下の測定時は確度に10%を加算。*5 100V以下の測定時は確度に5%を加算。*6 湿度50%rh以上の環境下では測定電流を100nA 以上に限定(結露なし)、テストリードの揺れなどの外乱がなく、オフセットが有効の場合。
