しかし、現場では…

• 「一つひとつの試験に準備が必要で、開発スピードが落ちている」
• 「マルチデバイスの大電流化が進み、従来の多チャンネル電源では電流が不足して困っている」

そんな声が多く聞かれます。
菊水電子工業では、このような現場課題に対して「電源・電子負荷・試験器の統合ソリューション」をご提案しています。まずは、代表的な試験項目別に、どのようなアプローチで解決できるのかをご紹介いたします。

一括・個別制御を実現するVMCB

VMCB（Virtual Multi Channel Bus・仮想マルチチャンネルバス）とは、複数台の直流電源をネットワーク（LAN）でつなぎ、パソコンから一括して簡単に操作・管理できる仕組みです。複数の直流電源を仮想グループ化して管理することで、1対Nはもちろんのこと、N対Mかつ大規模なネットワーク型の遠隔制御・監視を効率よく行うことが出来ます。

また、SCPIコマンドを使用することで、当社直流電源と併せてSCPIコマンドに対応した他の計測器も連携して制御が出来るため、評価システムの構築が容易です。

CC優先モード搭載

PWR-01シリーズやPWXシリーズは、パワーサイクル試験など半導体のエージング試験時に便利なCC優先モードを搭載しています。 CC優先モードを活用すると定電流起動時（OUTPUT ON時）の出力電流のオーバーシュートを抑制できます。

PWXシリーズにおける優先設定の違いによる出力電流波形の違い

▲CC優先設定時出力電流立上り波形

▲CV優先設定時出力電流立上り波形

半導体製造装置に求められるSEMI F47-0706規格の電圧サグイミュニティ

半導体製造工程は、とても複雑で細分化されており、エッチング装置や熱処理装置、イオン注入装置など様々な製造装置が用いられています。
そのため、半導体製造装置に入力される入力電源に電圧降下が発生した場合の装置の対応力を確認する指標として、半導体製造装置に要求される電源変動試験（電圧サグイミュニティ）がSEMI F47-0706で定められています。

この規格は共通規格とは異なる工業会による独自規格ですが、近年は半導体メーカーへ装置を納入する際の必須要求となりつつあります。
菊水電子工業の交流安定化電源PCR-WEA/WEA2シリーズは電圧や周波数が任意に可変でき、電圧降下や瞬停など電源ラインの異常シミュレーションが可能なため、「SEMI F47-0706」の試験を行うのに最適です。

半導体製造装置は、世界各国での稼働が想定されるため、様々な環境下での入力電圧の変動に対する耐性を評価することが重要です。