PLZ-4Wシリーズで使用していたモニタログなどのアプリケーションを使ってPLZ-5Wシリーズを使用したところ、IVIエラーが発生しました。原因を教えてください。

PLZ-4Wシリーズで使用していたアプリケーションは、PLZ-5Wシリーズでは使用できません。
PLZ-5Wシリーズには、SD023-PLZ-5W(Wavy for PLZ-5W)というオプションのシーケンス作成・制御ソフトウェアがあります。

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