電流通電時と遮断時の電圧差から内部抵抗を求める手法のこと。DUTにあらかじめ直流電流を流し、その状態での電圧を測定しておき、次に直流電流を短時間遮断し、その状態での電圧を測定する。電圧差を電流で除したものが内部抵抗となる。測定に要する時間は短いが、再現性の確保に注意する必要がある。