| 項目 | TOS9301 | TOS9301PD | TOS9303 | TOS9303LC | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| DC出力部 | 出力電圧範囲 | 0.050 kV〜7.200 kV | ||||
| 分解能 | 1 V | |||||
| 設定確度 | ±（1.2％ of setting ＋ 0.02kV） | |||||
| 最大定格負荷 *1 | 100 W（5 kV/20 mA, 7.2 kV/13.9 mA） | |||||
| 最大定格電流 | 20 mA | |||||
| リップル | 7.2 kV 無負荷 | 20 Vp-p（TYP） | ||||
| 最大定格負荷 | 50 Vp-p（TYP） | |||||
| 電圧変動率 | 1％以下 (最大定格負荷 →無負荷) | |||||
| 短絡電流 | 100 mA（TYP）（200 mA peak） | |||||
| 放電機能 | 試験終了時に強制放電（放電抵抗125kΩ） | |||||
| 開始電圧（Start Voltage） | 試験開始時の電圧を設定可能 | |||||
| 設定範囲 | 試験電圧の 1%～ 99 % | |||||
| 分解能 | 1% | |||||
| 出力電圧監視機能 | 出力電圧が ±（10 % of setting + 0.05 kV）を越えた場合、出力が遮断され保護機能が作動 | |||||
*1 連続で試験をする場合、上限判定基準値の設定によっては出力時間の制限と休止時間が必要になることがあります。*2 容量性の負荷に交流電圧を印加すると、負荷の容量分の値によっては無負荷よりも出力電圧が上昇することがあります。さらに、容量の値に電圧依存性のある試料(セラミックコンデンサなど)を負荷にした場合には、波形にひずみが発生することがあります。ただし、試験電圧 1.5 kV の場合には、1000 pF 以下の容量の影響は無視できます。また、本器の高圧電源部は PWM スイッチング方式のため、試験電圧が 500 V 以下ではスイッチングノイズ、スパイクノイズの占める割合が大きくなり、試験電圧が低くなるほど波形のひずみも大きくなります。
