TOS5400_耐電圧試験部-出力機能

AC 出力部（ACW のみ）

項目TOS5401TOS5402
出力範囲0.05kV 〜 5.00kV
出力設定確度±（2% of setting + 20V）（無負荷時）
出力設定範囲0.000kV 〜 5.500kV
0.000kV 〜 1.500kV（Time Unit: CYCLE かつ Phase Shift：0° に設定時）
出力分解能1V
最大定格出力*1500VA（5kV/100mA）
最大定格電圧5kV
最大定格電流100mA（出力電圧 0.5kV 以上）
トランス容量500VA
出力電圧波形*2波形正弦波
位相シフト出力電圧波形の位相をゼロクロスポイントから約 90° ずらして開始可能
ひずみ率3% 以下（無負荷時または純抵抗負荷時、出力電圧 0.5kV 以上）
周波数50Hz／60Hz
周波数確度± 0.5%（電圧上昇中を除く）
電圧変動率± 10% 以下（最大定格負荷→無負荷）
入力電圧変動± 0.3%（5kV 無負荷時、電源電圧 90V 〜 250V）
短絡電流200mA 以上（出力電圧 1.0kV 以上）
出力方式PWM スイッチング方式

*1 連続で試験をする場合、上限判定基準値の設定によっては出力時間の制限と休止時間が必要になることがあります。 *2 容量の値に電圧依存性のある試料（セラミックコンデンサなど）を負荷にした場合には、波形にひずみが発生することがあります。ただし、試験電圧 1.5kV の場合には、1000pF 以下の容量の影響は無視できます。また、TOS54 シリーズの高圧電源部は PWM スイッチング方式のため、試験電圧が 500V 以下ではスイッチングノイズ、スパイクノイズの占める割合が大きくなり、試験電圧が低くなるほど波形のひずみも大きくなります。

DC 出力部（DCW のみ）

項目TOS5401TOS5403
出力範囲0.05kV 〜 6.00kV
出力設定確度±（2% of setting + 20V）（無負荷時）
出力設定範囲0.000kV 〜 6.200kV
出力分解能1V
最大定格出力*150W（5kV/10mA）
最大定格電圧6kV
最大定格電流10mA
リップル（TYP）5kV 無負荷50Vp-p
最大定格負荷100Vp-p
電圧変動率3% 以下（最大定格負荷→無負荷）
短絡電流（TYP）40mA（6kV 出力時）
放電機能試験終了時に強制放電（放電抵抗 125kΩ）*2、最大静電容量：1 μF*3
放電時間：0.0s 〜 100.0s
インターロック作動時の放電機能：ON/OFF

*1 連続で試験をする場合、上限判定基準値の設定によっては出力時間の制限と休止時間が必要になることがあります。 *2 下記条件のとき、充電電流の影響でFAIL 判定または保護動作が作動することがあります。EUT の静電容量：1 μF、Rise Time：1.0 秒以下、Judge Delay：1.2 秒以下 *3 直流耐電圧試験において2 秒以内に放電できる最大静電容量です。最大静電容量を超えても試験はできますが、放電時間が長くなりますのでご注意ください。

共通

項目TOS5401TOS5402TOS5403
開始電圧機能試験開始時の電圧を試験電圧の 1% 〜 99% に設定可能。分解能 1%
Time Unit を CYCLE に設定した場合には無効－
制限電圧機能試験電圧設定の上限値を設定可能。ACW: 0.000kV 〜 5.500kV、DCW: 0.000kV 〜 6.200kV
ACW: 0.000kV 〜 1.500kV（Time Unit: CYCLE かつ Phase Shift：0° に設定時）－
出力電圧監視機能出力電圧が設定値の±（350V）を越えた場合に、出力が遮断され保護機能が作動する。

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