| 形名 | PLZ164W | PLZ334W | PLZ1004W | PLZ164WA | PLZ664WA | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ノーマル | 動作モード | CC、CR、CV、CP | ||||
| シーケンス | 最大ステップ数 | 256 | ||||
| ステップ実行時間 | 1ms〜999h59min | |||||
| 時間分解能 | 1ms（1ms〜1min）／100ms（1min〜1h）／1s（1h〜10h） 10s（10h〜100h）／1min（100h〜999h59min） | |||||
| ファーストシーケンス | 動作モード | CC、CR | ||||
| 最大ステップ数 | 1024 | |||||
| ステップ実行時間 | 25μs〜100ms | |||||
| 時間分解能 | 25μs（25μs〜100μs）／100μs（100μs〜100ms） | |||||
