PLZ164WL_シーケンス機能_ファースト

	PLZ164WL	PLZ334WL
動作モード	CC, CR
最大ステップ数	1024
ステップ実行時間	25μs 〜 100ms
分解能	25μs （25μs 〜 100μs）
分解能	100μs （100μs 〜 100ms）

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